大连皓宇电子科技申请晶圆加工系统相关专利，提高晶圆加工效率
创始人
2025-05-09 10:41:30
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金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，大连皓宇电子科技有限公司申请一项名为“一种晶圆加工系统的二次Mapping调度方法及系统”的专利，公开号CN119940789A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆加工系统的二次Mapping调度方法及系统，通过对晶圆盒的各晶圆子层进行晶圆加工工艺配方的虚拟匹配，并在获取虚拟匹配序列表后将晶圆盒加载至用于晶圆加工处理的开盒器机台上，然后再获取已加载至机器中设置有待加工晶圆的晶圆盒数据信息，并结合构建的晶圆修正策略，根据晶圆检测模块的输出与虚拟匹配序列表获取待晶圆加工匹配序列；解决了目前需要等待扫描晶圆之后再进行配方选择，会造成额外的时间浪费的问题，大大提高了晶圆加工效率。
天眼查资料显示，大连皓宇电子科技有限公司，成立于2020年，位于大连市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，大连皓宇电子科技有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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