晶盛机电获得发明专利授权：“一种晶圆双面减薄方法和系统”
创始人
2025-07-30 05:21:08
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆双面减薄方法和系统”，专利申请号为CN202510488822.7，授权日为2025年7月29日。
专利摘要：本申请涉及晶圆加工领域，尤其是涉及一种晶圆双面减薄方法和系统，包括：获取基板和晶圆之间的压强变化量△P、晶圆位置偏移量△x以及晶圆位置偏移速率；建立基板和晶圆之间的压强变化量△P、晶圆位置偏移量△x以及液体补偿量Q的第一补偿函数模型；基于所述第一补偿函数模型调节供液口的液体补偿量Q以使晶圆对中。一种晶圆双面减薄方法和系统，通过对液体补偿的控制，达到提高晶圆对中的效果。
今年以来晶盛机电新获得专利授权80个，较去年同期减少了2.44%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。
通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目196次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1062条，著作权信息136条；此外企业还拥有行政许可39个。
数据来源：天眼查APP
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