金融界2025年7月17日消息,国家知识产权局信息显示,江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置”的专利,授权公告号CN223108862U,申请日期为2024年08月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种硅片的承载舟、载具结构以及加工装置,通过对硅片的承载舟的结构进行改进,从而提高硅片加工的良品率。承载舟能够放置于炉管内,炉管内流通有加工气体,所述硅片的承载舟包括两个端板和间隔组件,两个所述端板在第一方向间隔布设,所述间隔组件位于两个所述端板之间,并与所述端板之间限定有至少两个载片腔部,各所述载片腔部内均可容纳有若干硅片,位于同一所述载片腔部内的硅片沿所述第一方向依次排列;各所述载片腔部均设置有进气通道,所述进气通道的延伸方向与所述第一方向相垂直。通过采用本申请的技术方案,能够减小硅片所受压力,避免硅片发生损伤,提高硅片加工的良品率。
天眼查资料显示,江苏微导纳米科技股份有限公司,成立于2015年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目47次,财产线索方面有商标信息89条,专利信息517条,此外企业还拥有行政许可68个。
来源:金融界