1月5日,九峰山实验室检测分析中心,近百名工程师们已开启7×24小时工作模式,抓紧为纳米材料、晶圆、芯片、器件等做检测分析。
九峰山实验室检测分析中心工程师正在做检测
中心总经理肖科说:“从新年第一天至今,中心已完成半导体检测分析服务超1300次,为半导体材料和器件国产化提供从研发阶段验证到量产质量控制的完整技术支撑。”
2025年12月,九峰山实验室检测分析中心半导体材料和器件检测分析服务总量已突破一万次,创下自投入运营以来的单月最高纪录。
九峰山实验室检测分析中心团队
半导体检测分析是指利用材料分析、化学分析、微观分析、失效分析等一系列方法对半导体生产环境、材料、工艺过程以及最终制成的芯片或器件进行检测和分析,以确保其性能、可靠性和良率。
随着半导体技术国产化进程加速,国内半导体第三方检测的业务量正与日俱增。根据中国半导体协会数据,2027年我国半导体第三方实验室检测分析市场规模将达到180-200亿元,年复合增长率超10%。
九峰山实验室检测分析中心于2023年投入运营,建有球差电镜显微中心、可靠性测试中心、化合物半导体材料表征中心等技术平台,拥有200多台检测分析设备,是中部地区唯一的CMA/CNAS质量认证体系双证合一的试点单位,可为企业一站式提供洁净室环境检测、晶圆品质检测、失效分析等229项测试服务。
九峰山实验室检测分析中心工程师正在做检测
中心内,有的工程师会利用特殊仪器观察芯片、器件的形貌、尺寸,及时发现缺陷,形成改进方案;有的工程师将半导体器件分别在200摄氏度高温和零下80度低温的环境中存储,观察性能变化。
肖科介绍:“当前企业对半导体器件微观分析需求较高。我们能够对半导体器件结构和工艺进行原子级观察,分析精度达59皮米,相当于头发丝的千万分之一,为客户提供精准分析报告。”
球差电镜下单晶硅的原子级成像
截至目前,九峰山实验室检测分析中心累计完成超过20万次检测分析服务,且每年服务量保持70%的增长率。
一些企业为就近完成技术成果转化,直接在光谷成立分公司。九峰山实验室自2021年成立以来,已吸引50余家上下游企业扎根光谷,共同形成覆盖半导体材料、器件到封装检测的完整产业链。