华虹宏力申请闪存及其形成方法专利，降低整体器件的高度
创始人
2026-01-08 17:40:42
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国家知识产权局信息显示，上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“闪存及其形成方法”的专利，公开号CN121284965A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种闪存及其形成方法，浮栅位于耦合氧化层上；擦除栅位于相邻浮栅之间的衬底上，擦除栅上形成有擦除栅保护层，以使擦除栅构成埋层结构，擦除栅的高度大于浮栅的高度；字线位于浮栅一侧的衬底上，字线的高度大于擦除栅的高度，字线的材料为金属材料。本发明采用单层浮栅结构，无控制栅，且浮栅的高度小于擦除栅的高度，降低整体器件的高度，不需要采用衬底回刻工艺降低器件区的高度，解决了存储单元高度偏高导致增加了工艺成本和控制难度的问题；本发明中的擦除栅采用埋层结构，且阵列区中的擦除栅不需要形成金属硅化物，以及字线采用金属栅极，不需形成金属硅化物，提高了器件高度的窗口。

天眼查资料显示，上海华虹宏力半导体制造有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目930次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可429个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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