微导纳米获得实用新型专利授权：“分气装置及沉积设备”
创始人
2026-02-17 14:01:48
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“分气装置及沉积设备”，专利申请号为CN202520594688.4，授权日为2026年2月17日。
专利摘要：本实用新型提供了一种分气装置及沉积设备，包括：壳体，内部中空且设有第一通道、容置空间以及N个第二通道，容置空间分别与第一通道和N个第二通道连通，第一通道用于与远程等离子体源连接，第二通道用于与喷淋板连通或者通过导气管路与喷淋板连通；旋转阀本体，可转动地设于容置空间内，旋转阀本体包括对应第一通道设置的进口以及与进口连通的N个出口；驱动件，与旋转阀本体驱动连接且用于驱动旋转阀本体转动。本实用新型通过驱动件的驱动，旋转阀本体可以在打开位置和关闭位置之间切换，从而通过一个旋转阀本体就可以实现对N个第二通道的清洁气体的通断控制，简化了整个分气装置的结构，降低了装置的制造成本。
今年以来微导纳米新获得专利授权15个，较去年同期增加了25%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。
通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次；财产线索方面有商标信息121条，专利信息592条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
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