光迅科技获得发明专利授权：“一种测量金属膜膜厚的优化方法”
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2026-02-25 11:02:03
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光迅科技（002281）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种测量金属膜膜厚的优化方法”，专利申请号为CN202310843452.5，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本发明公开了一种测量金属膜膜厚的优化方法，包括：创建输入功率、金属膜膜厚和工艺时间之间的测量模型；根据真空镀膜理论，获取金属膜的第一极限电阻率；获取第一极限电阻率、金属膜材电阻率和金属膜膜厚之间的对应关系；将对应关系和第一极限电阻率输入到测量模型内，将测量模型转换为中间模型；对金属膜方阻与输入功率进行线性拟合，获取中间模型的参数，并利用中间模型的参数对测量模型的参数进行定标，并利用标定后的测量模型计算出金属膜膜厚。本发明对测量模型的参数进行标定，在保证测量模型准确性的同时，只需要知道工艺时间和输入功率就能通过标定后的测量模型，计算出金属膜膜厚；省去了金属膜膜厚的测量，极大降低成本提高效率。

今年以来光迅科技新获得专利授权25个，较去年同期增加了150%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.46亿元，同比增42.91%。

通过天眼查大数据分析，武汉光迅科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目2380次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息1871条，著作权信息119条；此外企业还拥有行政许可93个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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