杭州富芯申请沟槽及其制作方法专利，使得沟槽顶部具有圆滑形貌
创始人
2025-05-01 11:20:26
0次
金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“沟槽及其制作方法”的专利，公开号CN119890133A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种沟槽及其制作方法，所述方法包括：提供衬底，在衬底上形成掩膜层；对掩膜层进行刻蚀形成图形化的掩膜层，图形化的掩膜层暴露部分衬底；去除暴露出的衬底上的自然形成的氧化层，同时至少在图形化的掩膜层的侧壁底部形成保护层；以图形化的掩膜层与保护层为掩膜对衬底进行刻蚀，在衬底内形成沟槽。本发明在对衬底刻蚀之前至少在图形化的掩膜层的侧壁底部形成保护层，所述保护层用于保护其下方的衬底，使得在以图形化的掩膜层为掩膜对所述衬底进行刻蚀形成沟槽时其沟槽顶部具有圆滑形貌。并且本发明是在去除暴露出的所述衬底上的自然形成的氧化层的同时形成所述保护层，无需增加专用设备，也无需增加工艺步骤，节省了制作成本。
天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息283条，此外企业还拥有行政许可16个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
DNFSAO联动版本奶妈加点攻...
加点代码：eJytj0sOAUEURc9Vab/QSLT2a9onxFqsgGYFhgbakpgYm...
有老外以为《古剑》是类魂 游戏...
近日烛龙游戏公布了单机ARPG新作《古剑》。本作是《古剑奇谭》系列最新正统续作，将以单机买断制形式登...
歧路旅人大陆的霸者：最简单的周...
《歧路旅人大陆的霸者》又到新的猜谜时刻，此前G哥仅猜中过2.0末期那几次，并且当时一共就剩下四五个待...
30款安徽工业“尖货”来了！
8月14日，安徽省重点产业链标志性产品发布会在合肥举行。本次发布会以“精品引领，‘皖美’呈现”为主题...
盛奕电子取得耳机前腔一体化喇叭...
金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市盛奕电子科技有限公司取得一项名为“一种...
天才死后，他的大脑被切成240...
阿尔伯特·爱因斯坦，诺贝尔奖获得者，为世界提出了相对论、质能方程E=mc2、还有光电效应法则的物理学...
韩红、周深成为年总表演嘉宾；I...
国际奥委会委员黄思绵陷腐败风波 8月12日，海外媒体Sport and Politics披露国际奥委...
太香了！超百万COD玩家将《战...
据报道，EA的《战地6》正在吸引大量玩家关注，并被认为是《战地》系列回归其经典玩法的标志。最新发布的...
WBG夺得云顶之弈项目冠军，两...
8月18日凌晨，随着KC夺得火箭联盟项目冠军，2025电竞世界杯（EWC）第六周的比赛正式落下帷幕，...
青岛新增13家概念验证平台 推...
概念验证平台推动科技创新“从0到1” 自旋芯片工艺及集成电路测试装备验证平台 这个占地面积3281平...
原创 限...
大家好我是指尖，西施的织梦人皮肤终于上架了，在限时点券商城即可购买兑换，有想法的小伙伴，可以直接去瞅...
祖宗之法《宝可梦传说 Z-A》...
《宝可梦传说 Z-A》将于10月16日发售，游戏将重新引入战斗外的中毒伤害机制。虽然中毒状态仍可通过...
多地发文支持，投融界带你看懂这...
在人工智能技术迭代升级的浪潮中，具身智能机器人正以新兴力量的姿态崛起，成为推动产业变革与社会进步的核...
原创 8...
旗舰手机由于价格高，堆料也远比中高端手机更狠，尤其是在信号方面，简直就是不惜工本，除了内置更多的天线...
任天堂Switch卡带遭破解！...
长久以来，任天堂游戏，尤其是第一方作品，始终是盗版商的头号目标。尽管厂商竭力让经典游戏得以传承，但伴...
《三角洲行动》主机版概览PV ...
近日《三角洲行动》官方公布了主机版概览PV，一起来看看视频。本作将于8月19日登陆PS5和XSX|S...
《GTA6》是转折点 将引导行...
万众瞩目的《GTA6》将于明年发售。尽管该作尚未推出，但其已在积极重塑整个游戏行业的格局。 当前...
人民财评：7月规上工业积极向好...
任一迪 国家统计局发布的2025年7月国民经济运行数据显示，7月份工业生产保持较快增长，装备制造业继...
一文看懂中国一汽12万人是怎么...
“数字化”三个字，蕴含着这个时代关于未来的想象。 上世纪70年代，一张excel财务报表，是企业最早...
一周六连发！昆仑万维将多模态A...
一水 发自 凹非寺 量子位 | 公众号 QbitAI 鲨疯了！一周连发六款模型。 火力全开的昆仑万维...