金融界2025年2月22日消息,国家知识产权局信息显示,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请一项名为“一种芯片键合装置和方法”的专利,公开号CN 119495604 A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明提供
了一种芯片键合装置和
方法。该芯片键合装置
包括:键合头,用于吸附
待键合的芯片,并调节
其位姿;红外视觉系统,
用于穿透该芯片,以采
集其背面的第一标记和
该芯片的目标键合位置
的第二标记的图像;以
及控制器,被配置为:经
由该红外视觉系统,获
取带有该第
标记和该
第二标记的图像;解析该图像,以确定该第一标记和该第二标
记在该图像中的位姿;根据该第一标记和该第二标记在该图像
中的位姿差异,调节该键合头的位姿,以使该芯片对准该目标
键合位置;以及经由该键合头,将该芯片键合到该目标键合位
置。本发明能够避免采用校准片作为中间媒介在键合过程中带
来的额外误差,提高键合精度,简化键合流程,从而提高键合效
率,提升设备产能。
天眼查资料显示,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司,成立于2020年,位于嘉兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1067.5409万人民币,实缴资本812.7046万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司参与招投标项目7次,知识产权方面有商标信息7条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可5个。
来源:金融界