古之立大事者，不惟有超世之才，亦必有坚忍不拔之志。

——语出苏轼《晁错论》

引 言

在芯片制造的高科技复刻中，这家公司的产品是掌控全局的指挥家，用十年时间打破了美国巨头数十年的垄断。

等离子体射频电源系统——这一半导体制造中的核心组件，如同一位精准的指挥家，在芯片制造的复杂工序中，它通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。

《奕泽财经》获悉，2025年6月，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”）科创板IPO申请获受理，计划募资15.5亿元。作为半导体设备核心零部件供应商，恒运昌的上市进程引起了市场广泛关注，上交所的问询聚焦于其技术实力和持续发展能力。

一、十年磨一剑，突破“卡脖子”技术

在半导体设备领域，等离子体射频电源系统长期被海外垄断。根据弗若斯特沙利文统计，2023年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足7%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。

恒运昌自2013年成立以来，就专注于这一技术瓶颈的突破。公司创始人乐卫平，曾在美国巨头AE工作十余年，深谙射频电源技术精髓。

十年研发攻关，恒运昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列。其中第二代Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代Aspen系列更可支持14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

技术突破带来市场认可。2020年底，恒运昌获得国内PECVD设备龙头拓荆科技的首份订单，这也是国产射频电源在中国半导体领域的首份订单。

二、与拓荆科技深度绑定 共建国产化生态链

恒运昌的发展史，与其第一大客户拓荆科技密不可分。

2018年，两家公司开始合作开发多款PECVD设备所需等离子体射频电源系统的国产化方案。2020年，恒运昌获得批量订单，供货规模逐步起量。

合作不止于供应关系。2022年6月，拓荆科技通过增资2000万元，获得恒运昌3.5088%的股权，成为战略股东。截至招股书签署日，拓荆科技持股比例为3.0856%。

报告期内，恒运昌向拓荆科技的销售收入占比分别为45.23%、58.16%及63.13%，客户集中度显著提高。2024年，恒运昌已成为拓荆科技第一大等离子体射频电源系统供应商。

《奕泽财经》认为，这种深度绑定关系既带来稳定订单，也隐含着风险。恒运昌在招股书中坦言，客户集中度较高是公司面临的主要风险之一。

三、国产替代加速 自研产品占比超八成

在《奕泽财经》看来，恒运昌的成长史，恰是中国半导体核心部件国产替代的缩影。

自主研发能力持续增强。2022年至2024年，恒运昌自研产品销售收入占比分别为66.02%、73.51%及84.34%，呈快速上升趋势。这一数据印证了公司技术实力的持续提升。

恒运昌的产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商。截至2024年末，公司已实现百万级收入的自研产品30款，千万级收入的自研产品19款。

恒运昌2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，市场份额位列第一。

四、业绩爆发式增长 产能瓶颈待解

技术突破带来商业成功。2022年至2024年，恒运昌营收从1.58亿元跃升至5.41亿元，净利润从2639万元增长至1.43亿元。三年营收复合增长率达84.91%，扣非净利润复合增长率更高达156.72%。

亮眼业绩背后，公司面临产能瓶颈。

报告期内，恒运昌产能利用率连续三年超100%，分别达到121.34%、102.12%、111.24%。尽管积极扩产和优化生产流程，仍难以满足市场快速增长的需求。

毛利率水平持续提升，从2022年的41.65%上升至2024年的48.71%，主要得益于高毛利率的自研产品销售规模及占比快速增长。

研发投入方面，2022-2024年公司研发费用分别为2154.21万元、3696.37万元及5528.00万元，占营业收入比例保持在10%以上。截至2024年底，公司研发人员152名，占员工总数41.64%。

五、募资15.5亿 加码半导体国产化

此次科创板IPO，恒运昌计划募资15.5亿元。资金将用于四大项目：

沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目（投资1.4亿元）、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目（6.9亿元）、研发与前沿技术创新中心项目（3.5亿元）营销及技术支持中心项目（1.2亿元），其余2.5亿元用于补充流动资金。

研发与前沿技术创新中心项目将专注于下一代产品研发，包括低频大功率等离子体射频电源、远程等离子体源等新产品。该项目已取得深圳市宝安区发改局备案，计划建设期2年。

公司创始人乐卫平在招股书中表示，募投项目的实施将有利于公司扩大生产规模、加强研发投入，进一步巩固在半导体级等离子体射频电源系统领域的领先地位。

六、十年愿景：从国产替代到全球竞争

站在上市门槛上，恒运昌制定了雄心勃勃的发展蓝图。

在产品布局上，公司采取“双轮驱动策略”：通过内生研发持续优化现有产品，同时借助外部并购拓宽产品品类，发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

市场拓展方面，恒运昌计划在深耕国内市场基础上，逐步拓展国际市场，优先组建中国台湾、欧洲的销售网络。

公司还设定了明确目标：到2030年，国内半导体市场份额超过95%，国际市场份额超过35%，当年产值突破20亿人民币。

恒运昌的崛起，代表了中国半导体产业链上游核心技术的重大突破。正如乐卫平在招股书中所言，公司致力于“提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平，为国家半导体事业贡献力量”。

2024年，恒运昌第三代Aspen系列射频电源系统已能支持14纳米先进制程，比肩国际巨头次世代技术水平。在深圳宝安桃花源科技创新园内，乐卫平带领团队正向着7纳米乃至更先进制程发起挑战。

结 语

可以预见，随着15.5亿元募投资金的到位，恒运昌规划在沈阳建设产业化基地，在深圳扩建智能化生产运营中心，同时将研发触角延伸至更前沿领域。这家曾打破国外垄断的企业，目标已不仅是国产替代——2030年，35%的国际市场份额，20亿人民币年产值，恒运昌正将中国“芯”带向全球舞台。

转自：奕泽财经