谦视智能制造申请剩余硅厚测量装置和方法专利,提升测量精度
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2026-01-22 02:00:53
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国家知识产权局信息显示,南京谦视智能制造有限公司申请一项名为“一种剩余硅厚测量装置和方法”的专利,公开号CN121346671A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请提供了一种剩余硅厚测量装置和方法,装置包括:成像模块、位移传感模块、第一驱动模块、红外透射光源、反射光源和处理模块。处理模块与成像模块、位移传感模块、第一驱动模块、红外透射光源和反射光源电连接;红外透射光源与成像模块共光轴设置,红外透射光源和成像模块分别位于待测样片的相对两侧。成像模块和位移传感模块均固定于第一驱动模块,第一驱动模块用于沿垂直于待测样片的方向运动。处理模块用于根据对焦高度值一、对焦高度值二、光传输介质的折射率和待测样片的折射率确定剩余硅厚。本申请可以有效抑制背景杂散光,增强内部铜柱图像的对比度,使得处理模块对对焦状态的确定更为准确和可靠,以提升测量精度。

天眼查资料显示,南京谦视智能制造有限公司,成立于2017年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本350.0243万人民币。通过天眼查大数据分析,南京谦视智能制造有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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