国家知识产权局信息显示,迪盛微(江苏)装备科技有限公司申请一项名为“曝光系统、激光直写曝光机、激光器的控制方法及其应用”的专利,公开号CN121500697A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种曝光系统、激光直写曝光机、激光器的控制方法及其应用,该曝光系统包括激光器及与激光器相连的曝光镜头,曝光镜头上安装有DMD器件,DMD器件包括DMD控制板和DMD芯片,曝光系统还包括主控制板和LD控制板;DMD控制板用于产生激励信号以驱动DMD芯片;主控制板用于产生时钟信号;LD控制板与DMD控制板和激光器相连,用于基于时钟信号和激励信号产生控制信号以驱动激光器,激光器在控制信号为高电平时开启,在控制信号为低电平时关闭;其中,LD控制板用于在激励信号的下降沿将控制信号转换为高电平,并在设定个时钟信号周期之后复位控制信号。本发明在满足样品曝光需求的同时,通过减少激光器的开启时间,提高了激光器的使用寿命。
天眼查资料显示,迪盛微(江苏)装备科技有限公司,成立于2018年,位于常州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1585.5469万人民币。通过天眼查大数据分析,迪盛微(江苏)装备科技有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息114条,此外企业还拥有行政许可7个。
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